什么是曝光设备?

 曝光装置是在半导体、液晶显示器等制造现场使用的装置,通过照射光在基板上描绘电路、像素等图案。

 
由于它们使用极强的光线并需要精确控制平台等,许多产品体积庞大且成本数十亿美元。曝光工艺是半导体和液晶显示器制造中非常重要的设备,因为它决定了设计数据( CAD数据)的图案。每家公司都开发了多种曝光方法并在自己的设备中使用它们。

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